Das Projekt GENESIS hat sich zum Ziel gesetzt, ökologische Herausforderungen in der europäischen Halbleiterindustrie anzugehen. Ein Konsortium aus 58 Partnern – darunter Industrieunternehmen, Forschungsinstitute und Universitäten – arbeitet über drei Jahre an Lösungen zur nachhaltigen Gestaltung der Lieferkette. Das Projekt reicht von der Materialentwicklung bis zur Abfallbehandlung.
Das französische Forschungsinstitut CEA-Leti koordiniert das Projekt. Das Vorhaben orientiert sich am Europäischen Green Deal und dem EU Chips Act. Der Fokus liegt auf Emissionskontrolle, umweltfreundlichen Materialien, Abfallminimierung und Recycling.
Forschungsschwerpunkt am Fraunhofer IPMS
Das Fraunhofer IPMS leitet ein zentrales Arbeitspaket innerhalb von GENESIS. Ziel ist es, den Einsatz schädlicher Chemikalien zu reduzieren und klimaschädliche Gase zu minimieren, die in der Halbleiterproduktion verwendet werden – etwa PFAS und Gase wie SF6 oder NF3. Zudem werden Recyclingtechniken und Abgasreinigungssysteme untersucht und weiterentwickelt.
„Der achtsame Umgang mit Ressourcen steht im Mittelpunkt unserer Forschung innerhalb des GENESIS-Projekts. Wir konzentrieren uns auf den Ersatz und die Reduktion des Ausstoßes von klimaschädlichen Gasen wie SF6 oder NF3. Diese Gase sind 10.000-fach schädlicher als CO2, werden aber in der Halbleiterindustrie benötigt. Außerdem kümmern wir uns um die Verringerung des Abfalls, der beim chemisch-mechanischen Polieren entsteht“, erklärte Dr. Erik Schumann, wissenschaftlicher Leiter des Projekts am Fraunhofer IPMS.
Vier Säulen der Nachhaltigkeit
Das Projekt hat sich zum Ziel gesetzt, rund 45 Innovationen zu entwickeln, die den gesamten Lebenszyklus von Halbleitern abdecken. Die GENESIS-Vision für eine grüne europäische Halbleiterindustrie basiert auf vier strategischen Säulen. Dabei liegt der Fokus vor allem auf Überwachung und Sensorik, neuen Materialien wie PFAS-freien Chemikalien, Abfallminimierung und der Verringerung kritischer Rohstoffe.
Bedeutung für Europas Halbleiterstrategie
Das GENESIS-Projekt gilt als wichtiger Baustein, um die Ziele des EU-Chips-Acts mit Klimaschutzanforderungen zu verbinden. Die Initiative soll dabei helfen, die Halbleiterindustrie in Europa nachhaltiger zu machen und ihren ökologischen Fußabdruck zu verringern.
„Da Chips zum Rückgrat aller Bereiche von der KI bis zu Energiesystemen werden, wächst ihr ökologischer Fußabdruck rapide an. GENESIS ist eine Antwort auf diese dringende Herausforderung, indem es Pionierarbeit bei der Entwicklung nachhaltiger Alternativen in den Bereichen Materialien, Abfallvermeidung und Ressourceneffizienz leistet. Mit dieser Initiative investiert Europa nicht nur in umweltfreundlichere Technologien, sondern positioniert sich auch als weltweit führend in der umweltfreundlichen Halbleiterfertigung“, so Anton Chichkov, Programmleiter bei Chips Joint Undertaking (Chips JU). Dabei handelt es sich um eine öffentlich-private Partnerschaft, die gegründet wurde, um die europäische Halbleiterindustrie durch die Förderung der Zusammenarbeit zwischen der EU, den Mitgliedsstaaten und dem Privatsektor zu stärken.
Die Förderung des Projekts beläuft sich auf rund 55 Millionen Euro. Neben der Europäischen Kommission tragen auch die EU-Mitgliedstaaten sowie das Schweizer Staatssekretariat für Bildung, Forschung und Innovation zu dem Projekt bei.
